Rotor System
Snažno jezgro suhe vakuum pumpe je precizno postavljen rotorski sklop, koji se obično sastoji od dva do tri spiralna ili kandžasta rotora{0}}u obliku. Ovi-metalni rotori visoke preciznosti se spajaju jedan s drugim sa mikronskim-razonima, koristeći protu{4}}rotaciju za pokretanje plina od ulaznog otvora prema izduvnom otvoru. Jedinstveni dizajn profila rotora-kao što su evolventni ili kružni lučni profili-određuje efikasnost pumpanja; brzine rotacije mogu doseći 3.000–6.000 o/min, a jednostepeni-omjer kompresije može premašiti 10:1.
Zaptivna struktura
Za razliku od pumpi{0}}zaptivenih uljem, suve pumpe održavaju integritet vakuuma putem troslojnog-zaptivnog mehanizma:
Labirintne zaptivke: Višestepeni, krivudavi kanali koji se nalaze na krajevima rotora koriste otpor protoka zraka da blokiraju curenje.
Gasna barijera: Inertni gas se ubrizgava u kritične zazore kako bi se stvorila pneumatska barijera pod pritiskom.
Specijalizovani premazi: Površine rotora su obložene materijalima kao što je PEEK (polieter eter keton), koji obezbeđuje i otpornost na habanje i smanjeni koeficijent trenja.
Ove karakteristike dizajna održavaju stopu curenja ispod 0,5 Pa·m³/s, čime se ispunjavaju strogi zahtjevi za čistoćom u industrijama kao što je proizvodnja poluprovodnika.
Modul za hlađenje: "Temperature Guardian" za kontinuirani rad
Zbog odsustva podmazivanja{0}}na bazi ulja, suve pumpe zahtijevaju inteligentni sistem upravljanja toplinom:
Vazdušno hlađenje: Rebra za rasipanje toplote od aluminijumske legure uparene sa centrifugalnim ventilatorom odvode do 60% proizvedene toplote.
Vodeno hlađenje: petlja za cirkulaciju vode od unutrašnje bakrene{0}}cijevne cijevi osigurava efikasnost izmjene toplote koja je tri puta veća od one kod vazdušnog hlađenja.
Faza-Promjena hlađenja: Određeni modeli koriste tehnologiju toplotnih cijevi, postižući stopu toplotne provodljivosti do 100 puta veću od one kod čistog bakra.
